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去离子水就是将水通过阳离子交换树脂 ,则水中的阳离子被树脂所吸收，树脂上的阳离子H+被置换到水中，并和水中的阳离子组成相应的无机酸；含此种无机酸的水再通过阴离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强碱性阴离子）。

工业去离子水继续在蒸发器中盘旋上升，经过汽水分离装置，作为纯蒸汽从纯蒸汽出口输出，工业蒸汽在蒸发器被原料水吸收热量后凝结成工业蒸汽凝结水作为预热器的加热源，预热原料水后从预热器不凝结水排放出口排出机外，采用高温高压操作，确保稳定生产无热原用水，所生产的蒸馏水。冷却水开启，低于90℃时，冷却水关闭，使出水温度自动稳定

水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。

选择工业蒸馏水,这种工艺制得的纯水,微生物含量比较有**.如果离子交换工艺做的去离子水,后端采用了杀菌措施,则去离子水的纯度会更高一些,而且成本更低.
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我公司引进国外高纯水生产线，制作工艺中采用了反渗透，EDI，混床等、的水处理设备，出水经过紫外线杀菌及0.1微米精密过滤，出水小可达电导率：0.0556us/cm(电阻率18MΩ)，SiO2低至0.005~0.01mg/L;生产各个行业所需的高纯水（去离子水），可代替蒸馏水并优于蒸馏水，并根据用户的需求，生产出纯度不同的生产用水。
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