工业去离子水继续在蒸发器中盘旋上升,经过汽水分离装置,作为纯蒸汽从纯蒸汽出口输出,工业蒸汽在蒸发器被原料水吸收热量后凝结成工业蒸汽凝结水作为预热器的加热源,预热原料水后从预热器不凝结水排放出口排出机外,采用高温高压操作,确保稳定生产无热原用水,所生产的蒸馏水。冷却水开启,低于90℃时,冷却水关闭,使出水温度自动稳定
水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10),但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多,至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。
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